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激光晶轴硅单晶定向的直接定向法??

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激光晶轴硅单晶定向的直接定向法??

发布日期:2019-08-21 00:00 文章来源:澳门威尼斯人平台 点击:

半导体硅单晶是具有一定晶向的,检测它的方法很多,这里主要介绍硅单晶定向的激光晶轴定向法。

激光晶轴定向是在光点定向原理的基础上发展起来的.所谓光点定向就是在腐蚀坑基础上,用特制的光点反射仪来代替金相显微镜,可以较准确的从光学屏上反射出的图形位置来确定晶体的晶向,而激光定向就是用激光晶轴定向仪代替金相显微镜。它是基于各个晶轴方向具有不同的对称性,因而围绕这些晶轴腐蚀坑或解理面也具有不同对称分布的特征。??

当一束激光通过准直器从光屏中间的小孔中射出,并投射在被腐蚀或解理过的晶体端面上时,即产生若干束具有一定对称分布的反射光,其反射光即按端面上的结晶学构造(腐蚀坑或解理面)在光屏上显示出特征光图,由此可判断晶向。下面分别叙述金相腐蚀法和解理法在单晶端面上获得结晶学构造与特征光图的关系。


硅单晶定向,碳化硅定向

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